Wstęp 7
O Autorach 8
1. Wprowadzenie 9
1.1. Próżnia i jej zastosowanie 9
1.2. Rys historyczny 11
2. Podstawowe procesy fizyczne związane z technologią próżni 15
2.1. Podstawowe pojęcia 15
2.1.1. Ciśnienie gazu 15
2.1.2. Zasady termodynamiki 16
2.1.3. Temperatura gazu 17
2.2. Przemiany gazu doskonałego 17
2.2.1. Ilość gazu 18
2.2.2. Równanie stanu gazu doskonałego 19
2.2.3. Odstępstwa od równania stanu gazu doskonałego 20
2.2.4. Parowanie 21
2.3. Zarys kinetycznej teorii gazów 23
2.3.1. Założenia 23
2.3.2. Funkcje rozkładu 24
2.3.3. Gaz w stanie równowagi – rozkład Maxwella 25
2.3.4. Prędkości średnie 26
2.3.5. Strumień cząsteczek gazu padającego na powierzchnię 26
2.3.6. Ciśnienie gazu w aspekcie statystycznym 29
2.3.7. Wyprowadzenie praw gazowych z rozważań statystycznych 30
2.3.8. Energia gazu 31
2.3.9. Średnia droga swobodna 31
2.3.10. Zjawiska transportu w gazie 34
2.4. Oddziaływanie cząsteczek gazu z powierzchnią 41 
2.4.1. Adsorpcja gazu 43
2.4.2. Czas przebywania cząsteczek na powierzchni 44
2.4.3. Desorpcja 44 
2.4.4. Stan równowagi między adsorpcją a desorpcją 45 
2.4.5. Rozpraszanie gazu na powierzchni w stanie równowagi 46
2.5. Gaz w ciele stałym 47
2.5.1. Rozpuszczanie gazu w ciele stałym 48
2.5.2. Dyfuzja gazu 49
2.5.3. Przenikanie gazu 49
2.6. Uwagi 50
3. Przepływ gazu 52
3.1. Pompowanie gazu ze zbiornika 52
3.2. Źródła gazu i pompowanie zbiornika nieszczelnego 53
3.2.1. Źródła gazu 53
3.2.2. Pompowanie zbiornika z nieszczelnością 55 
3.3. Przepływ gazu przez przewody 56
3.3.1. Analogie elektryczne 56
3.3.2. Efektywna szybkość pompowania 58
3.3.3. Przepływ molekularny 59
3.3.4. Przepływ lepki, laminarny 67
3.3.5. Przepływ pośredni 70
3.4. Kryteria rozdziału przepływów 72
3.5. Uwagi 73
4. Wytwarzanie próżni 74
4.1. Podział pomp próżniowych 74
4.2. Pompy objętościowe olejowe 75
4.2.1. Zasada działania 75
4.2.2. Olejowe pompy rotacyjne 77
4.2.3. Pompowanie par łatwo ulegających kondensacji 84
4.2.4. Eksploatacja pomp rotacyjnych 86
4.3. Pompy Rootsa 87
4.3.1. Budowa i zasada działania pomp Rootsa 87
4.3.2. Problemy eksploatacyjne pomp Rootsa 90
4.4. Pompy suche 91
4.4.1. Pompy membranowe 91
4.4.2. Pompy tłokowe 93
4.4.3. Pompy Rootsa 94
4.4.4. Pompy pazurowe 95
4.4.5. Pompy śrubowe 97
4.4.6. Pompy spiralne 98
4.4.7. Porównanie pomp suchych 99
4.5. Pompy molekularne i turbomolekularne 100
4.5.1. Pompy molekularne 100 
4.5.2. Pompy turbomolekularne 102
4.5.3. Pompy zespolone 106
4.6. Pompy dyfuzyjne 107
4.7. Pompy sorpcyjne 111
4.7.1. Pompy sublimacyjne 111
4.7.2. Pompy jonowo-sorpcyjne 114
4.7.3. Pompy kriosorpcyjne 119
4.8. Porównanie pomp wysokiej próżni 124
5. Pomiary próżni 126
5.1. Próżniomierze 126
5.1.1. Podział próżniomierzy 126
5.1.2. Próżniomierze rurkowe 127
5.1.3. Próżniomierze membranowe 129
5.1.4 Próżniomierze hydrostatyczne 133
5.1.5. Próżniomierze kompresyjne 135
5.1.6 Próżniomierze cieplnoprzewodnościowe 138
5.1.7. Próżniomierze konwekcyjne 144
5.1.8. Próżniomierze lepkościowe. Próżniomierz z wirującą kulką 145
5.1.9. Próżniomierze jonizacyjne z gorącymi katodami 148
5.1.10. Próżniomierze jonizacyjne z zimnymi katodami 154
5.1.11. Skalowanie próżniomierzy 158
5.2. Spektrometry mas jako analizatory gazów resztkowych 163
5.2.1. Ogólna charakterystyka spektrometrów mas 163
5.2.2. Spektrometr z segregacją jonów w jednorodnym polu magnetycznym 168
5.2.3. Filtry mas 170
5.2.4. Spektrometr z segregacją jonów w obszarze swobodnego przelotu 173
5.3 Wykrywanie i pomiary nieszczelności 175
5.3.1. Nieszczelności rzeczywiste i pozorne 175
5.3.2. Metoda baniek mydlanych 176
5.3.3. Lokalizacja nieszczelności za pomocą próżniomierzy 177
5.3.4. Helowe wykrywacze nieszczelności 179
Literatura 183