Przejdź do treści

Banery wysuwane

okładka z pomarańczowej serii rozpraw habilitacyjnych
Nieporowate amorficzne i krystaliczne warstwy ceramiczne otrzymywane w procesach CVD i MOCVD

Autor
Kategoria produktu
Nauki techniczne » Inżynieria materiałowa
ISBN
978-83-66727-87-8
ISSN
0867-6631
Typ publikacji
monografia
Format
B5
Oprawa
miękka
Liczba stron
140
Rok wydania
2022
Opis

Wydawnictwa nie prowadzą sprzedaży książek z serii "Rozprawy Monografie". Zainteresowanych prosimy o kontakt z ich autorami.

Spis treści

Streszczenie 9
Summary 11
Wykaz ważniejszych skrótów 13
Wykaz najważniejszych oznaczeń 15
Wstęp 19
1. Charakterystyka procesów CVD i MOCVD 25
1.1. Metoda MOCVD (Metalorganic Chemical Vapour Deposition) 36
1.2. Podsumowanie 37
2. Metodyka badawcza 38
3. Synteza warstw Si3N4 na szkle kwarcowym metodą CVD w celu zwiększenia jego odporności na działanie halogenków  39
3.1. Synteza amorficznych warstw Si3N4 o wysokiej transmisji światła na podłożach ze szkła kwarcowego metodą CVD 40
3.1.1. Uzasadnienie celowości podjęcia badań 40
3.1.2. Warunki syntezy warstw Si3N4 na szkle kwarcowym metodą CVD 41
3.1.3. Synteza warstw Si3N4 na szkle kwarcowym 42
3.2. Synteza amorficznych warstw Si3N4-C na szkle kwarcowym metodą CVD 48
3.2.1. Cel badań 48
3.2.2. Warunki syntezy warstw Si3N4-C metodą CVD 48
3.2.3. Warstwy Si3N4-C na szkle kwarcowym 49
3.3. Podsumowanie wyników badań w układach Si3N4 oraz Si3N4-C 52
4. Synteza warstw Al2O3 na podłożach ceramicznych oraz kompozytowych z węglików spiekanych metodą MOCVD 53
4.1. Wprowadzenie i uzasadnienie celowości badań 53
4.2. Synteza warstw Al2O3 na węglikach spiekanych i szkle kwarcowym 57
4.2.1. Synteza warstw Al2O3 w obecności amoniaku w reakcyjnej mieszaninie gazowej 57
4.2.2. Uzyskane wyniki badań 60
4.3. Synteza warstw Al2O3 bezpośrednio na węglikach spiekanych oraz szkle kwarcowym bez udziału amoniaku w mieszaninie reakcyjnej 64
4.3.1. Synteza warstw Al2O3-C na szkle kwarcowym bez udziału amoniaku 65
4.3.2. Synteza warstw Al2O3-C/Al2O3 na szkle kwarcowym bez udziału amoniaku 69
4.3.3. Synteza kompozytowych warstw Al2O3-C/Al2O3 na narzędziach skrawających z węglików spiekanych bez udziału amoniaku. 72
4.4. Podsumowanie. 78
5. Otrzymywanie warstw wieloskładnikowych i modyfikacja ich budowy metodą MOCVD 80
5.1. Synteza warstw YBa2Cu3O7-x  80
5.1.1. Praktyczny cel badań 80
5.1.2. Metodyka prowadzenia badań 83
5.1.3. Wyniki badań i ich analiza 85
5.1.4. Podsumowanie wyników badań nad syntezą warstw YBCO 91
5.2. Badania nad syntezą warstw w układach dwuskładnikowych 92
5.2.1. Wprowadzenie. 92
5.2.2. Praktyczny cel badań 98
5.2.3. Otrzymywanie warstwowych elektrolitów YSZ, SDC oraz GDC na szkle kwarcowym metodą MOCVD 99
5.2.3.1. Synteza warstw ZrO2-Y2O3 metodą MOCVD 99
5.2.3.2. Synteza warstw CeO2-Sm2O3 metodą MOCVD 110
5.2.3.3. Synteza warstw CeO2-Gd2O3 metodą MOCVD 116
5.2.4. Podsumowanie uzyskanych wyników badań nad otrzymywaniem dwuskładnikowych warstw ZrO-Y2O3, CeO2-Sm2O3 oraz CeO2-Gd2O3 121
6. Podsumowanie i uwagi końcowe 122
Bibliografia 125
 

Spis treści
Cena
0,00 zł